TestEQ 열진공 챔버는 우주에서 운용되는 장비가 직면하는 저압 및 열 조건을 동시에 재현하며, 우주 환경 모사와 진공 상태에서의 열 사이클링을 위해 설계되었습니다. 고진공 성능과 초광범위 열 제어 범위를 함께 제공하여 진공과 열 사이클링을 동시에 적용할 수 있습니다.
적용 분야
- 우주선, 위성 및 우주 장비 시험
- 항공우주 부품 및 계기
- 반도체 장비 및 정밀 부품
- 진공 상태에서의 아웃게싱 및 재료 평가
- 진공과 열 사이클링의 동시 적용이 필요한 부품
구성 및 특징
- 최대 1.0×10⁻⁷ mbar의 고진공 수준.
- 상온에서 무부하 진공도 5×10⁻⁷ mbar.
- 온도 범위 -190 °C(액체 질소 냉각) ~ +200 °C.
- 진공과 열 사이클링 동시 수행 기능.
- 여러 진공 수준에서의 안정적인 압력 제어.
- 시험 대상물과 요구 온도 프로파일에 맞춘 챔버, 슈라우드 및 냉각 시스템 구성.
- 특허번호 CN202510795397.6.
사양
모델 범위
| 항목 | EZKT 1000-5 | EZKT 1200-5 | EZKT 1700-5 |
|---|---|---|---|
| 용적 | 0.402 m³ | 0.785 m³ | 2.65 m³ |
| 열 슈라우드 내부 치수(직선 원통부) | ø 800×800 mm | ø 1000×1000 mm | ø 1500×1500 mm |
| 진공 챔버 내부 치수(직선 원통부) | ø 1000×1000 mm | ø 1200×1200 mm | ø 1700×1700 mm |
| 열판 치수 | 600×500 mm | 800×700 mm | 1300×1200 mm |
공통 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| 용적 범위 | 0.5 m³ ~ 2.65 m³ (주문 제작 가능) |
| 고진공 수준 | 1.0×10⁻⁷ Torr (1.33×10⁻⁷ mbar) |
| 무부하 진공도 | 5.0×10⁻⁷ mbar (상온) |
| 다중 범위 압력 제어 | 1.0×10⁻², 1.0×10⁻³, 1.0×10⁻⁴, 1.0×10⁻⁵, 1.0×10⁻⁶ mbar/Torr에서 안정 운전 (상온) |
| 진공 챔버 누설률 | ≤ 1×10⁻⁹ std/cc/sec |
| 냉각 방식 | A: 열 싱크 + 콜드 플레이트, B: 열 싱크 + 가열 케이지, C: 액체 질소 열 싱크 + 가열 케이지 |
| 온도 범위 | 기체 질소 제어 -180 °C ~ +200 °C, 기계식 냉동 -80 °C ~ +150 °C, 액체 질소 침지 -190 °C |
| 온도 균일도 | ±2 °C (진공 환경에서 안정 상태일 때 열 싱크 및 콜드 플레이트의 임의 지점에서 측정) |
| 승온/강온 속도(기계식 냉각) | -70 °C ~ +100 °C ≥ 3 °C/min, +100 °C ~ -50 °C ≥ 3 °C/min |
| 승온/강온 속도(옵션, 가압 GN₂ 순환) | -150 °C ~ +125 °C ≥ 3 °C/min, +125 °C ~ -150 °C ≥ 3 °C/min |
| 진공 획득 시스템 | 기계식 펌프 / 루츠 펌프 / 분자 펌프 / 크라이오 펌프 |
| 전원 | AC 380 V, 3상, 5선, 50/60 Hz |
| 특허 | CN202510795397.6 |
시스템 구성 옵션
| 시스템 구성 요소 | 표준 구성 | 맞춤 구성 |
|---|---|---|
| 진공 용기 | ✓ | ✓ |
| 챔버 용적 | ✓ | ✓ |
| 진공 배기 시스템 | ✓ | ✓ |
| 열 슈라우드 | ✓ | ✓ |
| 콜드 플레이트 | 옵션 | ✓ |
| 가열 시스템 | ✓ | ✓ |
| 냉각 시스템 | ✓ | ✓ |
| 페이로드 고정구 | 옵션 | ✓ |
| 전기 피드스루 | 옵션 | ✓ |
| 잔류 가스 분석기(RGA) | 옵션 | ✓ |
| 데이터 수집 시스템 | 옵션 | ✓ |
| 열평형 | 옵션 | ✓ |
| 태양광 모사 | 옵션 | ✓ |
| 자동 제어 | ✓ | ✓ |
10⁻⁵ ~ 10⁻⁷ Torr/mbar 범위의 진공 수준은 임무 요구사항에 따라 우주선 TVAC 인증과 일반적으로 연관됩니다.
표준
열진공 시스템은 고객의 우주 환경 모사 또는 진공-열 시험 사양에 맞추어 구성됩니다. 일반적으로 참조되는 표준으로는 NASA 열진공 시험 요구사항, ECSS-Q-ST-70-02 우주선 열진공 시험, MIL-STD-810 저압 및 온도 시험, ASTM E595 아웃게싱 시험이 있습니다. 챔버, 배기 시스템, 슈라우드 및 열 프로파일을 정의하기 위해서는 시험 대상물과 요구 조건을 가지고 문의해 주십시오 . 관련 제품: 고도(저압) 시험 챔버 , 맞춤형 비표준 시험 챔버 .