Ketuhar suhu tinggi siri EUT TestEQ ialah kebuk pemanasan elektrik dengan peredaran udara untuk pembakaran dan dehidrasi wafer, pengeringan komponen, pengawetan polimer dan fotoresist, serta pembakaran pakej. Ia digunakan dalam pembuatan semikonduktor, pengeluaran elektronik dan pemprosesan bahan di mana kawalan suhu yang stabil dan kitaran haba yang boleh diulang adalah penting.
Aplikasi
- Pembakaran wafer dan dehidrasi wafer
- Pemprosesan haba fotoresist dan polimer
- Pembungkusan semikonduktor: pengawetan die attach, pengawetan epoksi, pengawetan underfill
- Pembakaran pakej IC dan rawatan haba selepas pengacuan
- Pengeringan komponen semikonduktor dan penyingkiran kelembapan
- Pembakaran dan penuaan komponen elektronik
- Pemprosesan haba bersih dan pembangunan proses (R&D)
Konfigurasi dan ciri
- Julat suhu RT hingga 200 °C standard; 300–500 °C tersedia sebagai pilihan.
- Turun naik suhu ≤ ±0.5 °C dan sisihan suhu ≤ ±2.0 °C.
- Masa pemanasan dari RT hingga 200 °C lebih kurang 35 minit.
- Kawalan pemanasan modulasi lebar denyut tempoh sama tanpa sentuh menggunakan SSR (Solid State Relay).
- Termokupel berperisai jenis K untuk pengukuran suhu.
- Peredaran udara untuk pengagihan haba yang sekata di seluruh isipadu kerja.
- Pembinaan kebuk keluli tahan karat dengan rak berbilang lapisan.
- Pengawal PLC atau skrin sentuh; perakaman data, pemantauan jauh dan integrasi MES tersedia sebagai pilihan.
- Ciri keselamatan: pemutus litar bocor, perlindungan kipas daripada terlalu panas, perlindungan suhu berlebihan, fius terma, perlindungan suhu berlebihan melampau saluran udara.
- Tingkap kaca pemerhatian dipasang pada model RT–200 °C; konfigurasi 200 °C–500 °C dibekalkan tanpa tingkap kaca pemerhatian.
- Konfigurasi pilihan termasuk Ketuhar Lengai Nitrogen, Ketuhar Vakum, Ketuhar Bersih Kelas 100, Ketuhar Berbilang Kebuk, Sistem Pemuatan Automatik, Sistem Perakaman Data dan Antara Muka Komunikasi MES.
- Dimensi kebuk tersuai, pembawa wafer, rak dan lekapan atas permintaan.
Spesifikasi
Julat model
| Parameter | EUT91 | EUT216 | EUT512 | EUT1000 |
|---|---|---|---|---|
| Kapasiti (m³) | 0.091 | 0.216 | 0.512 | 1.0 |
| Dimensi dalaman LxTxD (mm) | 450x450x450 | 600x600x600 | 800x800x800 | 1000x1000x1000 |
| Dimensi luaran LxTxD (mm) | 1040x820x635 | 1190x970x785 | 1500x1210x1065 | 1730x1480x1275 |
Spesifikasi umum
| Parameter | Nilai |
|---|---|
| Siri model | Ketuhar Suhu Tinggi, EUT |
| Julat suhu | RT–200 °C (300–500 °C adalah pilihan) |
| Turun naik suhu | ≤ ±0.5 °C |
| Sisihan suhu | ≤ ±2.0 °C |
| Kadar kenaikan suhu | RT–200 °C, lebih kurang 35 minit |
| Kaedah kawalan pemanasan | Modulasi lebar denyut tempoh sama tanpa sentuh, SSR (Solid State Relay) |
| Pengukuran suhu | Termokupel berperisai jenis K |
| Ciri keselamatan | Pemutus litar bocor, perlindungan kipas daripada terlalu panas, perlindungan suhu berlebihan, fius terma, perlindungan suhu berlebihan melampau saluran udara |
| Tingkap kaca pemerhatian | RT–200 °C: dengan tingkap kaca pemerhatian. 200 °C–500 °C: tanpa tingkap kaca pemerhatian |
| Kuasa | AC220V, 1 fasa 3 wayar, 50/60Hz; AC380V, 3 fasa 5 wayar, 50/60Hz |
Piawaian
Ketuhar ini boleh dikonfigurasikan untuk pemprosesan haba yang berkaitan dengan pembuatan semikonduktor, pembungkusan dan kelayakan kebolehpercayaan. Piawaian yang berkenaan bergantung pada proses tertentu, produk dan keperluan kelayakan pelanggan:
- Piawaian kebolehpercayaan JEDEC JESD22 — kaedah ujian kebolehpercayaan biasa untuk peranti dan pakej semikonduktor.
- Kitaran suhu JEDEC JESD22-A104 — kaedah kitaran suhu yang digunakan untuk penilaian kebolehpercayaan semikonduktor.
- Piawaian SEMI — amalan pembuatan semikonduktor dan keperluan peralatan yang berkaitan, bergantung pada aplikasi.
Spesifikasi akhir hendaklah ditetapkan mengikut proses haba sebenar, keseragaman suhu, atmosfera, kebersihan, kaedah pemuatan dan keperluan pengeluaran dan bukan berdasarkan satu piawaian sahaja. Untuk menetapkan saiz kebuk atau memadankan konfigurasi dengan wafer, pakej atau lekapan, hubungi kami dengan dimensi produk, profil suhu yang diperlukan, atmosfera dan kaedah pemuatan. Berkaitan: Kebuk Ujian Suhu dan Kelembapan Tinggi dan Rendah , Kebuk Ujian Tersuai Bukan Standard .