Sistem pembersihan vakum terma TestEQ menggabungkan pemanasan terkawal, pengekstrakan vakum dan pembersihan gas lengai pilihan untuk menyingkirkan kelembapan sisa, sebatian meruap dan hidrokarbon daripada bahagian peralatan pembuatan semikonduktor. Ia dibina untuk fab semikonduktor, pengeluar peralatan, kemudahan pemulihan komponen dan persekitaran pembuatan ketulenan tinggi yang memerlukan pemprosesan terma yang boleh diulang dan kawalan pencemaran.
Aplikasi
- Pengeringan dan penyediaan bahagian peralatan semikonduktor
- Vakum bake-out komponen ketepatan
- Penyingkiran kelembapan dan penyingkiran sisa organik meruap
- Pengurangan outgassing untuk pemasangan serasi vakum
- Pembersihan dan penyediaan komponen kebuk proses
- Pengeringan selepas pembersihan berasaskan air atau pelarut
- Pra-kondisioning komponen sebelum pemasangan
Konfigurasi dan ciri
- Kebuk divakumkan oleh sistem vakum yang dipilih untuk julat tekanan, isipadu kebuk dan beban proses yang diperlukan.
- Pemanasan terkawal mengikut resipi suhu yang ditetapkan, dengan profil terma yang boleh diprogramkan.
- Peringkat vakum bake-out yang mengekstrak bahan cemar yang dibebaskan secara berterusan.
- Pembersihan nitrogen atau gas lengai serasi pilihan untuk kitaran tekanan, penyejukan atau penyingkiran sisa meruap.
- Urutan penyejukan dan pengudaraan terkawal sebelum kebuk kembali ke tekanan atmosfera.
- Pembinaan kebuk SUS304 / SUS316L outgassing rendah dan lekapan khusus komponen.
- Kawalan PLC + HMI skrin sentuh dengan pengurusan resipi, pengelogan data, penggera dan interlock.
- Operasi automatik sepenuhnya atau separa automatik.
- Nombor paten CN202510795397.6.
Spesifikasi
| Parameter | Nilai |
|---|---|
| Tahap vakum | ≤ -0.1 MPa (boleh disesuaikan) |
| Julat suhu | ambien hingga 450 °C |
| Ketepatan kawalan suhu | ±1 °C |
| Bahan kebuk | keluli tahan karat outgassing rendah SUS304 / SUS316L |
| Mod pemanasan | pemanasan hibrid sinaran / konduksi |
| Mod pembersihan | terma + vakum + bantuan gas pilihan |
| Masa kitaran | 30–120 minit |
| Sistem kawalan | PLC + HMI skrin sentuh |
| Automasi | automatik sepenuhnya / separa automatik |
Julat suhu sebenar, vakum muktamad, kelajuan pengepaman, kadar pemanasan, keseragaman terma dan masa kitaran disahkan mengikut komponen pelanggan, tahap pencemaran dan spesifikasi proses yang diperlukan. Dimensi kebuk, julat suhu, seni bina vakum, lekapan, pembersihan gas dan pengelogan data boleh disesuaikan.
Piawaian
Keperluan kebersihan, keserasian bahan dan vakum yang berkenaan bergantung pada proses pembuatan dan spesifikasi komponen pelanggan. Bidang berkaitan termasuk keperluan pembuatan semikonduktor SEMI, bilik bersih dan kawalan pencemaran ISO 14644, serta penilaian outgassing ASTM E595.
Untuk menentukan kebuk, sistem vakum, lekapan dan resipi proses, hubungi kami dengan dimensi komponen, bahan, jenis pencemaran, suhu dan tahap vakum yang diperlukan. Berkaitan: Kebuk Vakum Terma , Kebuk Ujian Tidak Standard Tersuai .