Высокотемпературная печь серии EUT производства TestEQ представляет собой электрическую камеру с воздушной циркуляцией для отжига и обезвоживания пластин, сушки компонентов, отверждения полимеров и фоторезистов, а также отжига корпусов. Она применяется в полупроводниковом производстве, производстве электроники и обработке материалов, где важны стабильный контроль температуры и воспроизводимые термические циклы.
Области применения
- Отжиг и обезвоживание пластин
- Термическая обработка фоторезистов и полимеров
- Полупроводниковая сборка: отверждение при монтаже кристалла, отверждение эпоксидных компаундов, отверждение подзаливки
- Отжиг корпусов ИС и термическая обработка после формования
- Сушка и удаление влаги из полупроводниковых компонентов
- Отжиг и старение электронных компонентов
- Чистая термическая обработка и разработка процессов (НИОКР)
Конфигурация и особенности
- Диапазон температур от комнатной до 200 °C стандартно; 300–500 °C доступны опционально.
- Колебание температуры ≤ ±0,5 °C и отклонение температуры ≤ ±2,0 °C.
- Время нагрева от комнатной температуры до 200 °C — приблизительно 35 минут.
- Бесконтактное управление нагревом с равнопериодной широтно-импульсной модуляцией с использованием SSR (твердотельное реле).
- Термопара типа K в бронированном исполнении для измерения температуры.
- Воздушная циркуляция для равномерного распределения тепла по рабочему объёму.
- Камера из нержавеющей стали с многоуровневыми полками.
- Контроллер ПЛК или сенсорный контроллер; регистрация данных, удалённый мониторинг и интеграция с MES доступны опционально.
- Элементы безопасности: автоматический выключатель с защитой от утечки, защита вентилятора от перегрева, защита от превышения температуры, термопредохранитель, защита воздуховода от экстремального превышения температуры.
- Смотровое стеклянное окно устанавливается на моделях RT–200 °C; конфигурация 200 °C–500 °C поставляется без смотрового стеклянного окна.
- Опциональные конфигурации включают печь с азотной инертной средой, вакуумную печь, чистую печь класса 100, многокамерную печь, систему автоматической загрузки, систему регистрации данных и интерфейс связи с MES.
- Индивидуальные размеры камеры, носители для пластин, полки и оснастка по запросу.
Технические характеристики
Модельный ряд
| Параметр | EUT91 | EUT216 | EUT512 | EUT1000 |
|---|---|---|---|---|
| Объём (м³) | 0,091 | 0,216 | 0,512 | 1,0 |
| Внутренние размеры ШxВxГ (мм) | 450x450x450 | 600x600x600 | 800x800x800 | 1000x1000x1000 |
| Наружные размеры ШxВxГ (мм) | 1040x820x635 | 1190x970x785 | 1500x1210x1065 | 1730x1480x1275 |
Общие характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Серия моделей | Высокотемпературная печь, EUT |
| Диапазон температур | RT–200 °C (300–500 °C опционально) |
| Колебание температуры | ≤ ±0,5 °C |
| Отклонение температуры | ≤ ±2,0 °C |
| Скорость подъёма температуры | RT–200 °C, прибл. 35 мин |
| Метод управления нагревом | Бесконтактная равнопериодная широтно-импульсная модуляция, SSR (твердотельное реле) |
| Измерение температуры | Термопара типа K в бронированном исполнении |
| Элементы безопасности | Автоматический выключатель с защитой от утечки, защита вентилятора от перегрева, защита от превышения температуры, термопредохранитель, защита воздуховода от экстремального превышения температуры |
| Смотровое стеклянное окно | RT–200 °C: со смотровым стеклянным окном. 200 °C–500 °C: без смотрового стеклянного окна |
| Электропитание | AC220V, 1 фаза 3 провода, 50/60Hz; AC380V, 3 фазы 5 проводов, 50/60Hz |
Стандарты
Печь может быть сконфигурирована для термической обработки, связанной с полупроводниковым производством, сборкой и квалификацией надёжности. Применимые стандарты зависят от конкретного процесса, изделия и требований заказчика к квалификации:
- Стандарты надёжности JEDEC JESD22 — распространённые методы испытаний на надёжность полупроводниковых приборов и корпусов.
- JEDEC JESD22-A104 термические циклы — методы термоциклирования, используемые для оценки надёжности полупроводников.
- Стандарты SEMI — соответствующие практики полупроводникового производства и требования к оборудованию в зависимости от применения.
Окончательные характеристики следует устанавливать исходя из фактического термического процесса, равномерности температуры, атмосферы, чистоты, способа загрузки и производственных требований, а не только на основании одного стандарта. Для подбора камеры или согласования конфигурации под пластину, корпус или оснастку свяжитесь с нами , указав размеры изделия, требуемый температурный профиль, атмосферу и способ загрузки. См. также: Камера для испытаний на температуру и влажность , Индивидуальная нестандартная испытательная камера .