เตาอบอุณหภูมิสูง TestEQ ซีรีส์ EUT เป็นตู้ทำความร้อนด้วยไฟฟ้าพร้อมการหมุนเวียนอากาศ สำหรับการอบและไล่ความชื้นเวเฟอร์ การอบแห้งชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ การบ่มโพลีเมอร์และโฟโตรีซิสต์ และการอบบรรจุภัณฑ์ ใช้ในงานผลิตสารกึ่งตัวนำ การผลิตอิเล็กทรอนิกส์ และการแปรรูปวัสดุ ซึ่งต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่เสถียรและรอบอุณหภูมิที่ทำซ้ำได้
การใช้งาน
- การอบเวเฟอร์และการไล่ความชื้นเวเฟอร์
- การอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และการทดสอบความเสื่อมสภาพ
- การอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และการทดสอบความเสื่อมสภาพ
- การอบบรรจุภัณฑ์ IC และการอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และการทดสอบความเสื่อมสภาพ
- การอบแห้งชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และการกำจัดความชื้น
- การอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และการทดสอบความเสื่อมสภาพ
- การอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และการทดสอบความเสื่อมสภาพ
การกำหนดค่าและคุณสมบัติ
- ช่วงอุณหภูมิ RT ถึง 200 °C เป็นมาตรฐาน; 300–500 °C มีให้เลือกเป็นอุปกรณ์เสริม
- ความผันผวนของอุณหภูมิ ≤ ±0.5 °C และค่าเบี่ยงเบนอุณหภูมิ ≤ ±2.0 °C
- เวลาในการทำความร้อนจาก RT ถึง 200 °C ประมาณ 35 นาที
- การควบคุมการทำความร้อนแบบมอดูเลตความกว้างพัลส์แบบไม่สัมผัสโดยใช้ SSR (Solid State Relay)
- เทอร์โมคัปเปิลแบบหุ้มเกราะชนิด K สำหรับการวัดอุณหภูมิ
- การหมุนเวียนอากาศเพื่อการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอทั่วปริมาตรการทำงาน
- โครงสร้างห้องทำจากสแตนเลสพร้อมชั้นวางหลายชั้น
- ตัวควบคุม PLC หรือหน้าจอสัมผัส; การบันทึกข้อมูล การตรวจสอบระยะไกล และการเชื่อมต่อ MES มีให้เลือกเป็นอุปกรณ์เสริม
- คุณสมบัติด้านความปลอดภัย: เบรกเกอร์วงจรไฟรั่ว, การป้องกันความร้อนเกินของพัดลม, การป้องกันอุณหภูมิเกิน, ฟิวส์ความร้อน, การป้องกันอุณหภูมิเกินอย่างรุนแรงของท่อลม
- หน้าต่างกระจกสังเกตการณ์ติดตั้งในรุ่น RT–200 °C; การกำหนดค่า 200 °C–500 °C จัดส่งโดยไม่มีหน้าต่างกระจกสังเกตการณ์
- การกำหนดค่าเสริมรวมถึงเตาอบไนโตรเจนแบบเฉื่อย, เตาอบสุญญากาศ, เตาอบสะอาดคลาส 100, เตาอบหลายห้อง, ระบบโหลดอัตโนมัติ, ระบบบันทึกข้อมูล และอินเทอร์เฟซสื่อสาร MES
- ขนาดห้อง, ตัวรองรับเวเฟอร์, ชั้นวาง และอุปกรณ์ยึดจับ สามารถสั่งทำตามความต้องการได้
ข้อมูลจำเพาะ
ช่วงรุ่น
| พารามิเตอร์ | EUT91 | EUT216 | EUT512 | EUT1000 |
|---|---|---|---|---|
| ความจุ (m³) | 0.091 | 0.216 | 0.512 | 1.0 |
| ขนาดภายใน กxสxล (mm) | 450x450x450 | 600x600x600 | 800x800x800 | 1000x1000x1000 |
| ขนาดภายนอก กxสxล (mm) | 1040x820x635 | 1190x970x785 | 1500x1210x1065 | 1730x1480x1275 |
ข้อมูลจำเพาะทั่วไป
| พารามิเตอร์ | ค่า |
|---|---|
| ซีรีส์รุ่น | เตาอบอุณหภูมิสูง, EUT |
| ช่วงอุณหภูมิ | RT–200 °C (300–500 °C เป็นอุปกรณ์เสริม) |
| ความผันผวนของอุณหภูมิ | ≤ ±0.5 °C |
| ค่าเบี่ยงเบนอุณหภูมิ | ≤ ±2.0 °C |
| อัตราความเร็วในการเพิ่มอุณหภูมิ | RT–200 °C, ประมาณ 35 นาที |
| วิธีการควบคุมการทำความร้อน | การมอดูเลตความกว้างพัลส์แบบไม่สัมผัส, SSR (Solid State Relay) |
| การวัดอุณหภูมิ | เทอร์โมคัปเปิลแบบหุ้มเกราะชนิด K |
| คุณสมบัติด้านความปลอดภัย | เบรกเกอร์วงจรไฟรั่ว, การป้องกันความร้อนเกินของพัดลม, การป้องกันอุณหภูมิเกิน, ฟิวส์ความร้อน, การป้องกันอุณหภูมิเกินอย่างรุนแรงของท่อลม |
| หน้าต่างกระจกสังเกตการณ์ | RT–200 °C: มีหน้าต่างกระจกสังเกตการณ์. 200 °C–500 °C: ไม่มีหน้าต่างกระจกสังเกตการณ์ |
| กำลังไฟ | AC220V, 1 เฟส 3 สาย, 50/60Hz; AC380V, 3 เฟส 5 สาย, 50/60Hz |
มาตรฐาน
เตาอบสามารถกำหนดค่าได้สำหรับการอบที่เกี่ยวข้องกับการผลิตสารกึ่งตัวนำ การบรรจุภัณฑ์ และการรับรองความน่าเชื่อถือ มาตรฐานที่ใช้ขึ้นอยู่กับกระบวนการเฉพาะ ผลิตภัณฑ์ และข้อกำหนดการรับรองของลูกค้า:
- มาตรฐานความน่าเชื่อถือ JEDEC JESD22 — วิธีการทดสอบความน่าเชื่อถือทั่วไปสำหรับอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำและบรรจุภัณฑ์
- การทดสอบอุณหภูมิหมุนเวียน JEDEC JESD22-A104 — วิธีการทดสอบอุณหภูมิหมุนเวียนที่ใช้สำหรับการประเมินความน่าเชื่อถือของสารกึ่งตัวนำ
- มาตรฐาน SEMI — แนวปฏิบัติที่เกี่ยวข้องในการผลิตสารกึ่งตัวนำและข้อกำหนดอุปกรณ์ ขึ้นอยู่กับการใช้งาน
ข้อมูลจำเพาะสุดท้ายควรกำหนดตามกระบวนการอบจริง ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ บรรยากาศ ความสะอาด วิธีการโหลด และข้อกำหนดการผลิต มากกว่ามาตรฐานใดมาตรฐานหนึ่งเพียงอย่างเดียว ในการเลือกขนาดห้องหรือจับคู่การกำหนดค่ากับเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์ หรืออุปกรณ์ยึดจับ ติดต่อเรา พร้อมขนาดผลิตภัณฑ์ โปรไฟล์อุณหภูมิที่ต้องการ บรรยากาศ และวิธีการโหลด ที่เกี่ยวข้อง: ห้องทดสอบอุณหภูมิและความชื้นสูงต่ำ , ห้องทดสอบสั่งทำพิเศษ