ระบบทำความสะอาดด้วยสุญญากาศและความร้อนของ TestEQ ผสมผสานการให้ความร้อนแบบควบคุม การดึงสุญญากาศ และการไล่ก๊าซเฉื่อยเสริม เพื่อกำจัดความชื้นตกค้าง สารประกอบระเหยง่าย และไฮโดรคาร์บอนออกจากชิ้นส่วนอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบนี้สร้างขึ้นสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผู้ผลิตอุปกรณ์ สถานที่ปรับปรุงชิ้นส่วน และสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งต้องการกระบวนการทางความร้อนที่ทำซ้ำได้และการควบคุมการปนเปื้อน
การใช้งาน
- การอบแห้งและเตรียมชิ้นส่วนอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
- การอบไล่ก๊าซด้วยสุญญากาศของชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูง
- การกำจัดความชื้นและกำจัดสารตกค้างอินทรีย์ระเหยง่าย
- การลดการระเหยของก๊าซสำหรับชุดประกอบที่เข้ากันได้กับสุญญากาศ
- การทำความสะอาดและเตรียมชิ้นส่วนของห้องกระบวนการ
- การอบแห้งหลังการทำความสะอาดด้วยน้ำหรือตัวทำละลาย
- การปรับสภาพชิ้นส่วนก่อนการติดตั้ง
การกำหนดค่าและคุณสมบัติ
- ห้องถูกดึงอากาศออกด้วยระบบสุญญากาศที่เลือกตามช่วงความดันที่ต้องการ ปริมาตรห้อง และภาระของกระบวนการ
- การให้ความร้อนแบบควบคุมตามสูตรอุณหภูมิที่กำหนด พร้อมโปรไฟล์ความร้อนที่ตั้งโปรแกรมได้
- ขั้นตอนการอบไล่ก๊าซด้วยสุญญากาศที่ดึงสิ่งปนเปื้อนที่ปล่อยออกมาอย่างต่อเนื่อง
- การไล่ก๊าซไนโตรเจนหรือก๊าซเฉื่อยที่เข้ากันได้เป็นทางเลือก สำหรับการวนรอบความดัน การทำความเย็น หรือการกำจัดสารระเหยตกค้าง
- ลำดับการทำความเย็นและการระบายอากาศแบบควบคุมก่อนที่ห้องจะกลับสู่ความดันบรรยากาศ
- ห้องทำจาก SUS304 / SUS316L ที่มีการระเหยของก๊าซต่ำ และอุปกรณ์จับยึดเฉพาะสำหรับชิ้นส่วนแต่ละชนิด
- การควบคุมด้วย PLC + HMI หน้าจอสัมผัส พร้อมการจัดการสูตร การบันทึกข้อมูล สัญญาณเตือน และการล็อกอินเตอร์ล็อก
- การทำงานแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบหรือกึ่งอัตโนมัติ
- หมายเลขสิทธิบัตร CN202510795397.6
ข้อมูลจำเพาะ
| พารามิเตอร์ | ค่า |
|---|---|
| ระดับสุญญากาศ | ≤ -0.1 MPa (ปรับแต่งได้) |
| ช่วงอุณหภูมิ | อุณหภูมิห้องถึง 450 °C |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±1 °C |
| วัสดุห้อง | เหล็กกล้าไร้สนิม SUS304 / SUS316L ที่มีการระเหยของก๊าซต่ำ |
| โหมดการให้ความร้อน | การให้ความร้อนแบบผสมผสานการแผ่รังสี / การนำความร้อน |
| โหมดการทำความสะอาด | ความร้อน + สุญญากาศ + การช่วยด้วยก๊าซเป็นทางเลือก |
| ระยะเวลารอบ | 30–120 นาที |
| ระบบควบคุม | PLC + HMI หน้าจอสัมผัส |
| ระบบอัตโนมัติ | อัตโนมัติเต็มรูปแบบ / กึ่งอัตโนมัติ |
ช่วงอุณหภูมิจริง สุญญากาศสูงสุด ความเร็วในการสูบ อัตราการให้ความร้อน ความสม่ำเสมอทางความร้อน และระยะเวลารอบ จะได้รับการยืนยันตามชิ้นส่วน ระดับการปนเปื้อน และข้อกำหนดกระบวนการที่ต้องการของลูกค้า ขนาดห้อง ช่วงอุณหภูมิ โครงสร้างสุญญากาศ อุปกรณ์จับยึด การไล่ก๊าซ และการบันทึกข้อมูล สามารถปรับแต่งได้
มาตรฐาน
ข้อกำหนดด้านความสะอาด ความเข้ากันได้ของวัสดุ และสุญญากาศที่เกี่ยวข้อง ขึ้นอยู่กับกระบวนการผลิตและข้อกำหนดชิ้นส่วนของลูกค้า ขอบเขตที่เกี่ยวข้องรวมถึงข้อกำหนดการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ SEMI มาตรฐานห้องสะอาดและการควบคุมการปนเปื้อน ISO 14644 และการประเมินการระเหยของก๊าซ ASTM E595
ในการกำหนดห้อง ระบบสุญญากาศ อุปกรณ์จับยึด และสูตรกระบวนการ ติดต่อเรา พร้อมขนาดชิ้นส่วน วัสดุ ประเภทการปนเปื้อน อุณหภูมิและระดับสุญญากาศที่ต้องการ ที่เกี่ยวข้อง: ห้องสุญญากาศและความร้อน , ห้องทดสอบสั่งทำพิเศษ