Hệ thống làm sạch chân không nhiệt TestEQ kết hợp gia nhiệt có kiểm soát, hút chân không và tùy chọn sục khí trơ để loại bỏ độ ẩm còn lại, các hợp chất dễ bay hơi và hydrocarbon khỏi các chi tiết thiết bị sản xuất bán dẫn. Hệ thống được chế tạo cho các nhà máy bán dẫn, nhà sản xuất thiết bị, cơ sở tân trang linh kiện và môi trường sản xuất có độ tinh khiết cao cần xử lý nhiệt lặp lại được và kiểm soát nhiễm bẩn.
Ứng dụng
- Làm khô và chuẩn bị chi tiết thiết bị bán dẫn
- Nung chân không các linh kiện chính xác
- Loại bỏ độ ẩm và loại bỏ cặn hữu cơ dễ bay hơi
- Giảm khí thoát ra cho các cụm tương thích chân không
- Làm sạch và chuẩn bị các chi tiết buồng xử lý
- Làm khô sau khi làm sạch bằng nước hoặc dung môi
- Tiền điều hòa linh kiện trước khi lắp đặt
Cấu hình và tính năng
- Buồng được hút chân không bằng hệ thống chân không được chọn theo dải áp suất yêu cầu, thể tích buồng và tải xử lý.
- Gia nhiệt có kiểm soát theo một công thức nhiệt độ xác định, với các biên dạng nhiệt có thể lập trình.
- Giai đoạn nung chân không liên tục hút các chất nhiễm được giải phóng.
- Tùy chọn sục nitơ hoặc khí trơ tương thích để tạo chu trình áp suất, làm nguội hoặc loại bỏ các chất bay hơi còn lại.
- Trình tự làm nguội và xả có kiểm soát trước khi buồng trở về áp suất khí quyển.
- Kết cấu buồng SUS304 / SUS316L ít thoát khí và các giá đỡ dành riêng cho từng chi tiết.
- Điều khiển PLC + HMI màn hình cảm ứng với quản lý công thức, ghi dữ liệu, báo động và khóa liên động.
- Vận hành hoàn toàn tự động hoặc bán tự động.
- Số bằng độc quyền CN202510795397.6.
Thông số kỹ thuật
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Mức chân không | ≤ -0,1 MPa (có thể tùy chỉnh) |
| Dải nhiệt độ | nhiệt độ môi trường đến 450 °C |
| Độ chính xác kiểm soát nhiệt độ | ±1 °C |
| Vật liệu buồng | thép không gỉ SUS304 / SUS316L ít thoát khí |
| Chế độ gia nhiệt | gia nhiệt kết hợp bức xạ / dẫn nhiệt |
| Chế độ làm sạch | nhiệt + chân không + tùy chọn hỗ trợ khí |
| Thời gian chu trình | 30–120 phút |
| Hệ thống điều khiển | PLC + HMI màn hình cảm ứng |
| Tự động hóa | hoàn toàn tự động / bán tự động |
Dải nhiệt độ thực tế, chân không tối đa, tốc độ hút, tốc độ gia nhiệt, độ đồng đều nhiệt và thời gian chu trình được xác nhận theo chi tiết, mức nhiễm bẩn và yêu cầu quy trình của khách hàng. Kích thước buồng, dải nhiệt độ, cấu trúc chân không, giá đỡ, sục khí và ghi dữ liệu có thể được tùy chỉnh.
Tiêu chuẩn
Các yêu cầu về độ sạch, tương thích vật liệu và chân không áp dụng phụ thuộc vào quy trình sản xuất và thông số chi tiết của khách hàng. Các lĩnh vực liên quan bao gồm yêu cầu sản xuất bán dẫn SEMI, kiểm soát nhiễm bẩn và phòng sạch ISO 14644, và đánh giá thoát khí ASTM E595.
Để xác định buồng, hệ thống chân không, giá đỡ và công thức quy trình, liên hệ với chúng tôi với kích thước chi tiết, vật liệu, loại nhiễm bẩn, nhiệt độ và mức chân không yêu cầu. Liên quan: Buồng chân không nhiệt , Buồng thử nghiệm phi tiêu chuẩn tùy chỉnh .