TestEQ 熱真空試驗箱可再現設備在太空運行中面臨的低壓與溫度綜合環境，適用於空間模擬以及真空條件下的熱循環測試。它兼具高真空性能與超寬溫度範圍，可同時施加真空與熱循環。
應用領域
- 太空飛行器、衛星及太空設備測試
- 航太部件與儀器
- 半導體設備與精密部件
- 真空條件下的出氣與材料評估
- 需要真空與熱循環綜合測試的部件
配置與特點
- 高真空度可達 1.0×10⁻⁷ mbar。
- 室溫下空載真空度 5×10⁻⁷ mbar。
- 溫度範圍 -190 °C（液氮製冷）至 +200 °C。
- 具備真空與熱循環同步施加能力。
- 可在多個真空度水準下穩定調壓。
- 真空室、熱沉與冷卻系統圍繞測試件及所需溫度曲線進行配置。
- 專利號 CN202510795397.6。
技術規格
型號範圍
| 參數 | EZKT 1000-5 | EZKT 1200-5 | EZKT 1700-5 |
|---|---|---|---|
| 容積 | 0.402 m³ | 0.785 m³ | 2.65 m³ |
| 熱沉內尺寸（直筒段） | ø 800×800 mm | ø 1000×1000 mm | ø 1500×1500 mm |
| 真空室內尺寸（直筒段） | ø 1000×1000 mm | ø 1200×1200 mm | ø 1700×1700 mm |
| 熱板尺寸 | 600×500 mm | 800×700 mm | 1300×1200 mm |
通用規格
| 參數 | 數值 |
|---|---|
| 容積範圍 | 0.5 m³ 至 2.65 m³（可客製化） |
| 高真空度 | 1.0×10⁻⁷ Torr（1.33×10⁻⁷ mbar） |
| 空載真空度 | 5.0×10⁻⁷ mbar（室溫） |
| 多量程壓力調節 | 可在 1.0×10⁻²、1.0×10⁻³、1.0×10⁻⁴、1.0×10⁻⁵ 及 1.0×10⁻⁶ mbar/Torr 下穩定運行（室溫） |
| 真空腔體漏率 | ≤ 1×10⁻⁹ std/cc/sec |
| 製冷方式 | A：熱沉 + 冷板；B：熱沉 + 加熱籠；C：液氮熱沉 + 加熱籠 |
| 溫度範圍 | 氣氮控制 -180 °C 至 +200 °C；機械製冷 -80 °C 至 +150 °C；液氮浸泡 -190 °C |
| 溫度均勻性 | ±2 °C（真空環境下穩定狀態時，在熱沉與冷板任意點測得） |
| 升/降溫速率（機械製冷） | -70 °C 至 +100 °C ≥ 3 °C/min；+100 °C 至 -50 °C ≥ 3 °C/min |
| 升/降溫速率（選配，加壓 GN₂ 循環） | -150 °C 至 +125 °C ≥ 3 °C/min；+125 °C 至 -150 °C ≥ 3 °C/min |
| 真空獲得系統 | 機械泵 / 羅茨泵 / 分子泵 / 低溫泵 |
| 電源 | AC 380 V，三相，五線，50/60 Hz |
| 專利 | CN202510795397.6 |
系統配置選項
| 系統組成 | 標準配置 | 客製化配置 |
|---|---|---|
| 真空容器 | ✓ | ✓ |
| 腔體容積 | ✓ | ✓ |
| 真空抽氣系統 | ✓ | ✓ |
| 熱沉 | ✓ | ✓ |
| 冷板 | 選配 | ✓ |
| 加熱系統 | ✓ | ✓ |
| 冷卻系統 | ✓ | ✓ |
| 負載工裝 | 選配 | ✓ |
| 電連接器穿艙件 | 選配 | ✓ |
| 殘餘氣體分析儀（RGA） | 選配 | ✓ |
| 資料擷取系統 | 選配 | ✓ |
| 熱平衡 | 選配 | ✓ |
| 太陽模擬 | 選配 | ✓ |
| 自動化控制 | ✓ | ✓ |
10⁻⁵ 至 10⁻⁷ Torr/mbar 範圍內的真空度通常與太空飛行器 TVAC 鑑定相關，具體取決於任務要求。
標準
熱真空系統圍繞客戶的空間模擬或真空-熱測試規範進行配置。常用參考標準包括 NASA 熱真空測試要求、ECSS-Q-ST-70-02 太空飛行器熱真空測試、MIL-STD-810 低氣壓與溫度測試，以及 ASTM E595 出氣測試。如需確定試驗箱、抽氣系統、熱沉及溫度曲線，請將測試件及所需條件聯絡我們 。相關產品：海拔（低氣壓）試驗箱 、客製化非標試驗箱 。