TestEQ熱真空チャンバーは、宇宙空間で運用される機器が直面する低圧と熱の複合環境を再現し、宇宙環境シミュレーションおよび真空下での熱サイクル試験に使用されます。高真空性能と超広範な温度範囲を兼ね備え、真空と熱サイクルを同時に印加することが可能です。
用途
- 宇宙機、衛星、宇宙関連機器の試験
- 航空宇宙用部品および計測器
- 半導体製造装置および精密部品
- 真空下でのアウトガス評価および材料評価
- 真空と熱サイクルの複合試験が必要な部品
構成と特長
- 高真空度は1.0×10⁻⁷ mbarに対応。
- 常温での無負荷真空度は5×10⁻⁷ mbar。
- 温度範囲は-190 °C（液体窒素冷却）～+200 °C。
- 真空と熱サイクルの同時印加が可能。
- 複数の真空レベルで安定した圧力制御。
- 供試体および要求温度プロファイルに合わせてチャンバー、シュラウド、冷却システムを構成。
- 特許番号 CN202510795397.6。
仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| 高真空度 | 1.0×10⁻⁷ mbar |
| 無負荷真空度 | 5×10⁻⁷ mbar（常温） |
| 温度範囲 | -190 °C（LN₂冷却）～+200 °C |
| 機能 | 真空と熱サイクルの同時印加 |
| 圧力制御 | 複数の真空レベルで安定 |
規格
熱真空システムは、お客様の宇宙環境シミュレーションまたは真空熱試験仕様に基づいて構成されます。チャンバー、排気システム、シュラウド、温度プロファイルを決定するため、供試体と要求条件を添えてお問い合わせください。関連製品：高度（低圧）試験チャンバー、カスタム非標準試験チャンバー。